介绍 离子束光刻是一种微纳加工中的高精度利器，是一种基于光刻技术的微纳加工方法。它利用高能离子束在样品表面进行刻蚀，从而实现微纳加工。离子束光刻具有高分辨率、高精度、高可控性等优点，被广泛应用于微电子、纳米科技、生物医学等领域。 原理 离子束光刻的原理是利用高能离子束在样品表面进行刻蚀。在离子束光刻中，离子束会通过电场加速器加速，然后通过准直器进行准直，最后通过光刻机进行刻蚀。刻蚀过程中，离子束会撞击样品表面，使得表面原子发生位移，从而形成微小的凹坑或凸起。通过控制离子束的扫描方式和刻蚀深度，